Geol

Support - ÀÚÀ¯°Ô½ÃÆÇ


  • Normal SEM °ßÀû ¿äû
    ȫǥȯ 2016.04.26


    SEM °ßÀûÀ» ¿äû µå¸³´Ï´Ù.



      



    1.    
    Resolution : 3nm at 30kV / 7nm at 3kV
    ¼öÁØ 



    2.    
    Specimen stage : tilt 90deg , height 70mm(loading
    °¡´ÉÇÑ ½Ã·á Å©±â) 



    3.    
    EDS system
    Ãß°¡ 



    A.    
    Resolution 127eV
     



    B.     
    Detecting area : 20mm^2
     



    4.    
    Ion sputter –
    ¼öµ¿ ŸÀÔ



     



    À§ ³»¿ë
    Àû¿ëÇÏ¿© Àåºñ Ãßõ ¹× °ßÀûÀ» ¿äû µå¸³´Ï´Ù. 

      ´ñ±Û
    À̸§
    º¸¾ÈÄÚµå ( ´ñ±Û ÀÛ¼º½Ã ÇÏ´ÜÀÇ º¸¾ÈÄڵ带 ÀÔ·ÂÇϼ¼¿ä )

     
     
      [ ÀÌÀü±Û ] SEM °ßÀû ¿äû
      [ ÇöÀç±Û ] Normal SEM °ßÀû ¿äû
      [ ÀÌÀü±Û ] SEM ¼ö¸® ¹× ºÎÇ° °ßÀû °ü·Ã ¹®ÀÇ