Geol

Support - 자유게시판


  • [E-beam lithography] beam current관련
    유지혜 2021.03.24


    첨부 파일 : (PCD수치.jpg)



    첨부 파일 : (NPGS beam current.jpg)



    안녕하세요 서강대학교 나노팹센터 유지혜입니다.

     

    FE-SEM은 7100F보유하고 있고 NPGS도 설치되어있습니다.

     

    NPGS사용 중 궁금한 점 있어 문의드립니다.

     

    beam current를 측정함에 있어 PCD를 사용하여 측정한 값(사진1)과 NPGS 프로그램상에서 재는 것(사진2)과 차이가 있어

    어떤 것이 맞는지 문의드립니다.

     

    포커스를 맞추고 나서 PCD를 넣어 쟀을때는 45pA가 나왔고, NPGS 프로그램상에서 beam current를 눌러 재면 104pA가 나와서

    측정방법이 다른 것인지, 그리고 프로그램 run file editor에서 beam current를 적는 부분에 둘 중 어떤 값을 넣어야하는 지 문의드립니다.

     

    답변은 이메일로 부탁드립니다.

    감사합니다.

    유지혜드림 

      댓글
    이름
    보안코드 ( 댓글 작성시 하단의 보안코드를 입력하세요 )

     
     
      [ 이전글 ] 투과전자현미경 안전장비 관련 문의