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  • [Electron Microscope] EDS data 분석
    유재우 2021.04.26


     

    지올코리아 SEM팀 EDS담당 엔지니어 유재우 책임입니다.

    jwyoo@jeol.co.kr로 메일주시어 연락처를 남겨 주시면 바로 전화드리겠습니다.

    감사합니다  

     

    ---------------------------------------- 원글 ----------------------------------------

    안녕하세요.

     

    포항공과대학교 전상민교수님 연구실 은자경학생입니다.

     

    SEM-EDS 를 통해 샘플별 원소의 정량분석을 하려고 합니다. (기기는 나노융합기술원에 있는 JSM-7800F Prime 모델을 사용해서 측정하였습니다.)

     

    해당 기기를 통해 샘플을 분석하면 첨부1,2와 같이 spectrum line과 atomic ratio로 환산된 값을 표로 받고 있습니다.

     

     

    궁금한 점은

     

    1. map sum spectrum 에서 y축값은 정확히 어떤 것을 의미하는지

     

    2. y 축 값을 기반으로 atomic ratio가 계산되는 것으로 알고 있는데, 혹시 어떤 식으로 전환되는 것인지 궁금합니다.

     

     

     

    구체적으로는, O/C 와 Na/C atomic ratio를 샘플별로 비교하고 있습니다.

     

    map sum spectrum 에서 C(0.27 keV), O(0.52 keV), Na(1.05 keV)에 해당하는 peak의 절대값으로 ratio를 계산한 값과,

     

    atomic ratio로 전환된 값에서 O/C 와 Na/C ratio를 구한 값을 비교했을 때, 이 두값이 절대적 수치에서 차이는  물론이고, 경향성에도 차이가 있어서

     

    이렇게 문의드리게 되었습니다.

     

    메일또는 전화로 회신 부탁드립니다.

     

    감사합니다.

     

    은자경 드림

     

     





    ---------------------------------------- 답글 ----------------------------------------

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